本文摘要：半导体参数测试，是微电子、材料、物理等基础研究和应用于研究中十分最重要的一个环节，低精密仪器几乎为国外公司独占，传统的测试仪器价格昂贵，软件和测试功能单一而且不方便拓展。
半导体参数测试，是微电子、材料、物理等基础研究和应用于研究中十分最重要的一个环节，低精密仪器几乎为国外公司独占，传统的测试仪器价格昂贵，软件和测试功能单一而且不方便拓展。针对参数测试中IV，CV，低频噪声等测试市场需求，往往必须依赖有所不同的独立国家测试设备，相连简单，用于不便，并且成本也很高。“软件定义测试，算法突破硬件容许”，基于模块化硬件平台，应用于人工智能算法，扩展硬件固有的测试能力，大幅提高测试精度和速度。博达微算法团队全部来自清华大学电子系，从2016年开始团队把算法应用于移往至半导体测试领域，博达微团队用作量产测试的自学算法论文取得2018年DATE大会的最佳论文（BestPaper），同年也公布了半导体参数化测试系统FS－Pro，构建高速高精度IV，CV和低频噪声测试一体，产品很快被领先的半导体公司，大学和研究机构使用。
在科研领域，短短一年时间内，FS－Pro已被国内30多所大学及研究机构所使用，在先进设备器件和材料等领域的测试展现出十分出众。它集IV，CV与1／fnoise测试于一体，高精度、低成本、综合的半导体器件密切相关分析能力灵活性符合学术科研用户的有所不同测试市场需求，大大节省了测试设备订购支出。
它是目前世界上唯一一款构建了所有常用低频特性测量于一体，在单台仪器内已完成所有测试市场需求的半导体分析仪。工业标准的PXI模块化硬件结构，标准化的软件平台，内置测量软件获取数百个预计义的测试模板和功能，构建即插即用体验，使其沦为半导体器件与先进设备材料研究方面的得力助手。清华大学微电子所王燕教授订购了三套FS－Pro用作科研和教学，她说道：“国内半导体微电子产业的大大发展，对微电子专业的人才明确提出了新的拒绝。
对于微电子教学来说，必须使得学生需要原始地理解半导体器件测量到辟仿效知道整个流程。传统的半导体参数测量设备基本上皆为进口设备，体积可观，价格高昂，不适合于用来展开微电子教学。博达微科技FS－Pro经常出现后，引发了我们很大的兴趣，经过调研和试用，我们找到该款测量设备在测量分辨率，精度，C－V比特率上均超过了进口设备的水准，同时该款设备配有了博达微的建模旗舰产品—模型参数萃取软件MeQLab，因此在教学上构建了测量到辟仿效知道原始流程，在教学上更为切合半导体产业的应用于。同时设备在成本上与进口设备比起具有十分大的优势，在体积上十分小巧，因此清华大学微电子专业此次订购了3套博达微FS－Pro作为微电子教学设备，该设备很大地助力于我们培育合乎半导体产业必须的应用型人才。
”今年1月份，南京大学王肖沐教授课题组在NatureNanotechnology公开发表了研究成果论文《ObservationofballisticavalanchephenomenainnanoscaleverticalInSe／BPheterostructures》，首次在二维材料横向异质结中明确提出和构建了一种新型的PN结穿透机制“弹道雪崩”，并首次制作出有了性能出色的中红外弹道雪崩光电探测器和弹道雪崩场效应晶体管。王肖沐教授是FS－Pro的第一批用户，他是新型纳米器件研究领域著名科学家，众多论文中很多被领先的会议期刊精选辑。王教授毕业于清华大学和香港中文大学，曾任耶鲁大学博士后研究员。
他说道：“我们的研究工作必须综合的半导体器件密切相关分析能力，还包括对于IV，CV以及1／f噪声的精准测量，由于我们常常在新型器件结构上展开各方面研究，因此我们必须设备的测量设置充足灵活性以符合我们的有所不同测试市场需求。博达微FS－Pro？对我们来说是一个惊艳，可获取0．1fA和1fA两档灵敏度解决方案，其模块化架构不仅可以协助我们在未来轻松升级到CV和1／f噪声测试，还可以根据我们的测试拒绝展开灵活性配备。与之前用于的传统仪器比起，博达微FS－Pro系列测试速度也要慢很多，内置软件界面简练，操作者非常简单，他们还获取了一个工业界标准的器件建模平台，可以将我们的研究成果必要转化成用作电路设计。
与此同时，成本较之同类产品也十分有竞争力。”周杨波博士，南昌大学特聘教授，毕业于北京大学物理学院并于爱尔兰圣三一大学物理系获得博士后学位，优秀青年学者。周杨波教授当前的研究主要环绕二维功能材料（如石墨烯、氮化硼、二硫化钼等）进行，在该领域获得了一系列具备国际影响力的成果，自2007年以来在NatureCommunications，AdvancedMaterials，NanoLetters等期刊公开发表论文30余篇。
“我第一次看到FS－Pro系列半导体测试仪时，是在展开设备调研拜访博达微公司的时候，虽然当时早已见过一些文字材料，但还是被该设备的小巧所更有了，这台设备比我以前用过的同类其他厂家的测试仪（有的如今经过了产品升级或许显得更加可观了）比起真是小了众多圈，这对于常常必须移动测试设备至有所不同实验室积极开展实验的我来说真是是众多福音。同时，虽然体积增大了，功能却丝毫没削减，各种常用测试功能一应俱全。
同时，针对我所测试的纳米器件，在长量程设置下，维持高精度的同时依旧有迅速的测试速度。最重要的是，博达微公司能针对我们的特定市场需求，对测试仪的软件功能构建一定程度的自定义化。例如，我订购半导体测试仪的众多目的是应用于低温探针台，构建纳米器件的变温、逆磁场测试。
博达微公司的工程师在与我展开交流、理解明确市场需求后，之后贯彻地著手开始这一部分测试功能的自定义研发，我十分期望能尽早获得涉及的软件测试版本，并与他们维持交流，更进一步完备功能，让测试设备充分发挥出有更加强劲的性能。”周杨波教授评价到。FS－Pro也助力复旦大学微纳器件公共平台科研项目，为国家重点先进设备器件科研项目获取有力的数据承托，特别是在在先进设备的低频噪声测试，在与同类进口产品对比后，复旦大学项目负责管理老师给与了十分低的评价。博达微FS－Pro系列凭借其强劲的测试能力及超高的性价比，自公布以来，短短一年时间内早已被多达30家大学所使用，沦为科研和教学工具的选用：原始方案：包括IV，CV，1／fnoise等常用低频参数的一体化测量解决方案，是目前业界唯一。
模块化架构：PXIe模块化架构，可灵活性扩展满足用户有所不同测试市场需求。高性价比：基于应用于优化硬件，只为用户获取合适而非便宜的硬件。
即插即用：内置LabExpress软件系统，所有测量只需页面几下鼠标，非常简单易懂，需要参看繁复说明书。长量程应用于：电压范围至200V，电流3A（脉冲，标准1A），灵敏度平均0．1fA。建模及建模：业界唯一获取可选内置器件建模与建模软件，测量数据可一键引入至建模平台软件MeQLab展开测量后数据分析与器件建模建模。
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